《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》标准通过专家审定

 

　　7月4日，山东省陶瓷协会标准化技术委员会在淄博召开标准审查会，由山东硅元新型材料股份有限公司牵头制定的《光刻机用氧化铝陶瓷导轨》团体标准通过专家审定。淄博市市场监督管理局，淄博市传统产业发展中心相关业务科室负责人参会。
 

 

　　本次标准审查专家组由5人组成，涵盖行业协会、科研机构、高校和先进陶瓷生产企业，会议首先听取了标准起草单位的汇报，专家组对标准文本及技术内容进行了严格审查，并对部分内容提出了修改意见建议，专家组认为该标准制定程序规范、技术指标先进、试验数据可靠，一致同意通过审定，编制单位根据专家意见修改完善后形成报批稿。
 

 

　　光刻机用氧化铝陶瓷导轨是我国半导体产业存在的一道技术壁垒，山东硅元新型材料股份有限公司利用多年来在先进陶瓷领域积累的技术优势，在2014年组建项目组，联合国内相关科研机构、企业开展深入合作，研制出可用作光刻机用陶瓷导轨99氧化铝系列陶瓷材料和碳化硅陶瓷材料，生产出可替代国外同类产品的光刻机用氧化铝陶瓷导轨系列产品，有效解决了我国精密陶瓷制造产业中存在的“卡脖子”关键问题，可显著提升我国光刻机制造业和芯片制造产业的整体竞争力。
 

 

　　淄博市传统产业发展中心、淄博市检验检测计量研究总院、山东省硅酸盐研究设计院有限责任公司等单位共同参与了本标准制定工作。